一国企已开始量产自主研发的DUV光刻机制造设备，长鑫存储或成为首批客户之一

Theo The Information, trích dẫn nguồn tin từ người quen thuộc với vấn đề, một doanh nghiệp được hỗ trợ bởi vốn nhà nước Trung Quốc đã bắt đầu sản xuất hàng loạt thiết bị chế tạo máy quang khắc DUV (Cực tím sâu) tự phát triển, đây là một bước tiến quan trọng trong việc thúc đẩy thay thế nội địa hóa của ngành công nghiệp bán dẫn Trung Quốc.

Được biết, doanh nghiệp này có kế hoạch sản xuất khoảng 5 máy quang khắc DUV vào năm 2026 và mở rộng lên khoảng 20 máy vào năm 2027. Mặc dù vẫn còn khoảng cách về năng lực sản xuất so với gã khổng lồ máy quang khắc Hà Lan ASML (ASML đã bàn giao 131 hệ thống quang khắc DUV ngâm chìm vào năm ngoái), nhưng việc đột phá sản xuất hàng loạt máy quang khắc DUV nội địa có nghĩa là chuỗi cung ứng sản xuất chip của Trung Quốc đang tiến thêm một bước tới khả năng tự chủ và kiểm soát.

Các nguồn tin cho biết, lô máy quang khắc DUV nội địa này dự kiến sẽ được giao cho các nhà sản xuất chip lớn của Trung Quốc, bao gồm SMIC, Hua Hong Semiconductor và nhà sản xuất chip nhớ Changxin Memory Technologies (CXMT).

Trong số đó, Changxin Memory, với tư cách là doanh nghiệp đại diện cho ngành công nghiệp DRAM của Trung Quốc, dự kiến sẽ trở thành một đơn vị ứng dụng quan trọng của các thiết bị sản xuất bán dẫn tiên tiến nội địa. Nếu thiết bị DUV nội địa có thể vận hành ổn định trên dây chuyền sản xuất của các nhà máy như Changxin Memory, điều này sẽ giúp giảm hơn nữa sự phụ thuộc của ngành công nghiệp chip nhớ Trung Quốc vào các thiết bị chủ chốt nước ngoài.