一个国有企业已开始批量生产自主研发的DUV光刻机制造设备，长鑫存储可能成为首批客户之一

Odaily星球日报讯 The Information에 따르면 관계자 소식통에 의하면, 중국 국영 자본의 지원을 받는 한 기업이 자체 개발한 DUV(심자외선) 광학 리소그래피 장비의 양산을 시작했습니다. 이는 중국 반도체 산업이 국산화 대체를 추진하는 데 있어 중요한 진전입니다.

이 기업은 2026년에 약 5대의 DUV 광학 리소그래피 장비를 생산하고, 2027년에는 약 20대로 확대할 계획입니다. 네덜란드 리소그래피 장비 거대 기업 ASML(지난해 131대의 침지식 DUV 리소그래피 시스템 공급)의 생산 능력과는 여전히 차이가 있지만, 국산 DUV 장비의 양산 돌파는 중국 칩 제조 공급망이 더욱 자체적으로 통제 가능한 방향으로 나아가고 있음을 의미합니다.

소식통에 따르면 이번 국산 DUV 광학 리소그래피 장비는 중국 주요 칩 제조사인 SMIC(중신국제), 화훙반도체, 그리고 메모리 칩 제조사인 CXMT(창신 저장)에 인도될 예정입니다.

그 중에서도 CXMT는 중국 DRAM 산업을 대표하는 기업으로, 국산 첨단 반도체 제조 장비의 중요한 적용처가 될 것으로 예상됩니다. 국산 DUV 장비가 CXMT와 같은 제조업체의 생산 라인에서 안정적으로 작동할 수 있다면, 중국 메모리 칩 산업의 해외 핵심 장비 의존도를 더욱 낮출 수 있을 것입니다.